Металлизация ультрабольших интегральных схем
QR-код документа
М 54
Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / Д. Г. Громов [и др.]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. - 278 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 265-277 (176 назв.). - 1000 экз. - ISBN 978-5-94774-904-5 (в пер.) : 261.00 р., 211.97 р.
| ГРНТИ | 47.33.31 |
Рубрики: Интегральные схемы--Учебные издания для высших учебных заведений
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- полупроводниковые приборы -- микроэлектроника
Аннотация: Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями
Доп.точки доступа:
Мочалов, Алексей Иванович
Сулимин, Александр Дмитриевич
Шевяков, Василий Иванович
Громов, Дмитрий Геннадьевич
Экземпляры всего: 3
КХ (2), ОТЛ (1)
Свободны: КХ (2), ОТЛ (1)
Похожие издания по классификации