Поиск по Электронному каталогу Книги

Ж6
Л 66
Лич, Ричард.
    Инженерные основы измерений нанометровой точности : [учебное пособие] / Р. Лич ; пер. с англ. А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный (Московская область) : Интеллект, 2012. - 399 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.) : 1294.70 р.

ГРНТИ

90.27

81.13.30

ББК Ж6я7 + Ж10я7

Рубрики: Нанометрология

Кл.слова (ненормированные):
нанометровая точность -- микротехнологии -- наномасштаб -- нанотехнологии -- микросистемная техника
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс
Доп.точки доступа:
Заболоцкий, А. В. \пер.\

Экземпляры всего: 2
КХ (1), ОТЛ (1)
Свободны: КХ (1), ОТЛ (1)

З844
Б 888
Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии : [монография] / И. Броудай, Дж. Мерей ; перевод с английского В. А. Володина [и др.] ; под редакцией А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 494 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиография: с. 465-483. - Предметный указатель: с. 484-492. - Пер. изд. : The Physics of Microfabrication / Ivor Brodie, Julius Muray. - 11000 экз. - (В пер.) : 02.60 р.
ББК З844

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные схемы интегральные -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\
Шальнова, А. В. \ред.\
Brodie, Ivor
Muray, Julius

Экземпляры всего: 1
КХ (1)
Свободны: КХ (1)