База данных: Книги
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Ж6
Л 66
Лич, Ричард.
Инженерные основы измерений нанометровой точности : [учебное пособие] / Р. Лич ; пер. с англ. А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный (Московская область) : Интеллект, 2012. - 399 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.) : 1294.70 р.
ББК Ж6я7 +
Ж10я7
Рубрики: Нанометрология
Кл.слова (ненормированные):
нанометровая точность -- микротехнологии -- наномасштаб -- нанотехнологии -- микросистемная техника
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс
Доп.точки доступа:
Заболоцкий, А. В. \пер.\
Экземпляры всего: 2
КХ (1), ОТЛ (1)
Свободны: КХ (1), ОТЛ (1)
Л 66
Лич, Ричард.
Инженерные основы измерений нанометровой точности : [учебное пособие] / Р. Лич ; пер. с англ. А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный (Московская область) : Интеллект, 2012. - 399 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.) : 1294.70 р.
| ГРНТИ |
Рубрики: Нанометрология
Кл.слова (ненормированные):
нанометровая точность -- микротехнологии -- наномасштаб -- нанотехнологии -- микросистемная техника
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс
Доп.точки доступа:
Заболоцкий, А. В. \пер.\
Экземпляры всего: 2
КХ (1), ОТЛ (1)
Свободны: КХ (1), ОТЛ (1)
Страница 1, Результатов: 1