Поиск по Электронному каталогу Книги

З844
П 781

Физико-технологический институт (Москва).
    Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. - Москва : Наука, 1991 - . - 24 см.
   Т. 8 : Проблемы микроэлектронной технологии / ответственный редактор тома А. А. Орликовский. - 1994. - 126, [2] с. : ил., граф. - Библиография в конце статей. - 365 экз. - ISBN 5-02-007030-0 : 900 р.
ББК З844

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- макроэлектроника -- наноэлектроника -- пространственное сканирование
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Российская академия наук
Физико-технологический институт(Москва)

Экземпляры всего: 1
КХ (1)
Свободны: КХ (1)

З844
П 781

    Проблемы микроэлектронной технологии / Российская академия наук, Физико-технологический институт ; ответственный редактор тома Л. В. Великов. - Москва : Наука, 1994. - 75, [3] с. : ил., граф., табл. - (Труды ФТИАН ; т. 7). - Библиография в конце статей. - 390 экз. - ISBN 5-02-007019-X : 1350 р.
ББК З844.1

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- макроэлектроника -- наноэлектроника -- пространственное сканирование
Доп.точки доступа:
Великов, Л. В. \ред.\
Российская академия наук
Физико-технологический институт
Российская академия наук
Физико-технологический институт(Москва)

Экземпляры всего: 1
КХ (1)
Свободны: КХ (1)